氧分析儀按照種類可以分為激光氧分析儀、微量氧分析儀、氧化鋯氧量分析儀、電化學氧分析儀、順磁氧分析儀等，主要用于背景氣體非空氣的混合氣體或高純氣體中的氧氣濃度含量的測定，從類型上可以分為便攜式和在線式兩大類。